近日,2022北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京市朝林松源廣場隆重召開。本次大會以“蓄勢起航,煥然一芯”為主題,匯集了國際國內的行業(yè)龍頭和企業(yè)精英,打造了一場具有“高規(guī)格,大融合,產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新”三大特色的行業(yè)盛會,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了廣闊的平臺。

作為一家為國內泛半導體產(chǎn)業(yè)提供工藝廢氣系統(tǒng)解決方案的領軍企業(yè),格林斯達環(huán)保集團受邀參加,集團董事長兼總經(jīng)理戴恩平先生攜公司半導體行業(yè)專家團隊出席了本次大會,與眾多半導體行業(yè)精英同臺展示,分享經(jīng)驗成果、聚焦行業(yè)發(fā)展。本次展會格林斯達攜帶最新的技術及自研產(chǎn)品,前來與行業(yè)內外進行技術的交流探討與更新以及拓展相應業(yè)務,意在提升自身技術捕捉行業(yè)痛點,為業(yè)主提供更加全面的、穩(wěn)定的、安全的、系統(tǒng)化的工藝廢氣解決方案及產(chǎn)品。

由我司自主研發(fā)的砷皖吸附劑、酸氣吸附劑、堿氣吸附劑及自主生產(chǎn)的不銹鋼特氟龍涂層風管在本次展會上亮相。格林斯達環(huán)保自主研發(fā)的酸氣吸附劑可以對無機酸、有機酸、酸性氧化物、鹵化物等進行高效吸附固化,吸附容量大、無二次污染物釋放;堿氣吸附劑可以對含堿、氨氣、有機胺等廢氣進行高效吸附固化,吸附容量大、無二次污染物釋放;砷烷吸附材料經(jīng)過多次實驗室測試,對砷烷廢氣處理性能穩(wěn)定達到99%,顯著優(yōu)于國內外其他同類材料,成功完成中試規(guī)模制備,并運用到相關砷排項目中。

格林斯達環(huán)保不銹鋼特氟龍風管產(chǎn)線于今年4月正式啟動,9月正式量產(chǎn)。特氟龍風管主要適用于泛半導體行業(yè),包括半導體集成電路、液晶面板、大硅片等行業(yè)的酸堿排工藝廢氣系統(tǒng),特氟龍材質具有無毒無害、高純潔凈、抗化學腐蝕、耐高溫、耐磨損性及潤滑性、抗?jié)B透性、阻燃性、金屬離子隔絕性等特性,因此作為優(yōu)良的耐腐蝕涂層材料被廣泛應用。

會議期間,中芯國際、北京創(chuàng)新中心、中電四等公司嘉賓業(yè)主參觀了格林斯達環(huán)保展臺,與我司總經(jīng)理戴恩平先生等人就行業(yè)發(fā)展進行了深入交流,同時也對未來的合作提出了更高的期盼。

本次大會同期舉辦專題論壇。在集成電路工廠建設專題論壇上,格林斯達環(huán)保集團專家團隊做了精彩的主題演講和技術分享。集團研發(fā)總監(jiān)喻正保博士發(fā)表以《多維度廢氣處理技術助力中國芯》為主題的演講,贏得了現(xiàn)場嘉賓們的廣泛關注和深度探討。

喻總監(jiān)通過分析國產(chǎn)芯片發(fā)展歷程、面臨的技術挑戰(zhàn)和環(huán)保壓力、國家政策激勵背景,分享了格林斯達環(huán)保圍繞泛半導體領域末端廢氣處理需求而開展的多維度技術研發(fā)工作,包括酸堿廢氣處理系統(tǒng)關鍵技術和裝備開發(fā)和應用、揮發(fā)性有機廢氣處理系統(tǒng)關鍵技術、材料和裝備開發(fā)和應用,重點介紹了格林斯達環(huán)保在有毒有害廢氣處理關鍵技術和材料方面取得的研發(fā)成果和項目應用情況,穩(wěn)定性和處理效率與現(xiàn)有材料相比具有顯著優(yōu)勢,實現(xiàn)關鍵材料自主化生產(chǎn)。
格林斯達環(huán)保始終秉承著“世界級智能化全生命周期廢氣處理解決方案提供商”的使命,已成功服務中芯國際(北京、天津、深圳、上海廠)、中芯北方、中芯南方、中芯京城、中芯紹興、北方集成電路技術創(chuàng)新中心、華虹半導體、燕東微電子、積塔半導體、有研半導體、長江存儲、長鑫存儲、浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心、廣州芯粵能等眾多半導體知名企業(yè)。

隨“芯”而生,同“芯”發(fā)展。格林斯達環(huán)保將繼續(xù)堅定地沿著科技創(chuàng)新道路不斷前行,為客戶提供更多優(yōu)質服務,為助力中國芯高質量發(fā)展做出應有的貢獻!
